利用特制的高能高臭氧UV紫外线光束照射废气，把通过初步预处理的废气送入光氧废气处理装置后采用风机送出。 使有机或无机高分子恶臭化合物分子链，在高能紫外线光 束照射下，光氧催化废气处理设备与臭氧进行反应生成低分子化合物，如CO2、H2O等。投资费用低，适用范围广，净化效率高，操作 简单，除臭效果好，设备运行稳定，占地小，运行费用低，随用随开，不会造成二次污染。
有些产生废气的工艺所排出的废气中会体现出恶臭、黏附、高温，高湿、此种工况下要完全处理废气根本 不可能，在高于80℃的工况下光氧设备的光源效率仅为40℃时的50%,如果黏附物黏在光管壁上，那么光源就无 法散发，没有光源的设备就没有净化处理功能，因此在光氧废气处理装置前设置水喷淋降温，及粗效过滤作为 预处理器，从而确保由原配套风机抽风引入的废气中所含尘杂在进入光氧废气处理装置时得到有效的拦截过滤。
利用恶臭、有机废气中某些物质易溶于水的特性，光氧催化废气处理设备使恶臭、有机废气成分直接与水接触，从而溶解于水达 到去除目的。适用于水溶性、有组织排放源的恶臭、有机废气。工艺简单，管理方便，设备运转费用低，但产 生二次污染，需对洗涤液进行处理；净化效率低，应与其他技术联合使用，单独使用对有机废气处理效果差。所以把水喷淋和光催化氧化废气处理技术结合起来对含有高温以及黏性排放的有机废气和恶臭气体及粉尘有特效。
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